石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的?
作者:http://fumeiabc.cn
發(fā)布時間:2022-03-16 22:34:09
石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的?
深圳石墨模具舟晶圓裝載室:太陽能行業(yè)使用,配合PECVD載具,裝載硅片,準備中效、高效過濾器,保證吹送的空氣達到凈化要求。
深圳石墨模具舟的工作原理:
空氣經(jīng)過高效過濾后,阻尼層被均勻壓緊,使?jié)崈舻臍饬鞔怪眴蜗蛩腿刖b載工作區(qū),保證了工作區(qū)的清潔度達到工藝要求,操作人員在潔凈的環(huán)境下將硅片裝載到石墨舟內(nèi)。
深圳石墨模具船的主要特點:
1.石墨舟裝卸車能夠準確定位;
2.采用不銹鋼制造,整機結(jié)構(gòu)牢固可靠;
3.使用三個GK系列高效空氣過濾器。
4.PECVD載具可傾斜15度或內(nèi)部旋轉(zhuǎn)180度;
5.凈化風機噪音小于50dB。
6.確保工作區(qū)的潔凈度達到工藝要求的100級。
本文出自東莞市捷誠石墨制品有限公司官網(wǎng):http://fumeiabc.cn 權威發(fā)布, 東莞市捷誠石墨制品有限公司是一家集銷售、應用開發(fā),產(chǎn)品加工的石墨專業(yè)廠家,專門為模具行業(yè)、機械行業(yè)、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品,歡迎致電13549365158更多關于石墨制品方面信息,可回本網(wǎng)站產(chǎn)品頁面詳細了解點擊:石墨制品 石墨模具 石墨坩堝 石墨轉(zhuǎn)子 石墨軸承 石墨板 石墨棒 石墨匣體 石墨熱場 真空爐石墨制品 電子石墨模具